XXY精密對位平臺


臺面尺寸 : 1000、1500 (mm)
基座尺寸 : 1200、1700 (mm)

機械作動原理-中央/側(cè)邊傳動-標(biāo)準(zhǔn)型、高剛性型

★ 超薄型、輕量化平臺-采用Mini stage Xyθ模塊化結(jié)構(gòu),實現(xiàn)無中座的薄且輕的機構(gòu)

★ 透過特殊交叉滾柱軸承施加預(yù)壓,達(dá)高剛性、高精度表現(xiàn)

★ 中空結(jié)構(gòu)設(shè)計,可作為光學(xué)式檢查裝置或?qū)y試器使用

★ 在各運動軌道加入潤滑系統(tǒng)，提高對位平臺使用的壽命及精度

★ 材料皆經(jīng)超深冷處理,有效預(yù)防變型,大幅提升使用壽命,質(zhì)量及效能

★ 實行三次元全檢,保證滑臺出廠精度與質(zhì)量
 

型號	工作臺面尺寸 (mm)	基座尺寸 (mm)	行程 (mm)	水平負(fù)載能力 (kgf)
GAS03-1000RC	1000x1000	1200x1200	±15x±15	200
GAS03-1000RS	1000x1000	1200x1200	±15x±15	200
GAS03-1500CC	1000x1000	1200x1200	±15x±15	160
GAS03-1500RC	1500x1500	1700x1700	±15x±15	200
GAS03-1500RS	1500x1500	1700x1700	±15x±15	200
GAS03-1500CC	1500x1500	1700x1700	±15x±15	160