本實(shí)用新型涉及一種通過(guò)調(diào)節(jié)加熱盤(pán)升降來(lái)調(diào)節(jié)兩極板間間距的手動(dòng)升降裝置，屬于半導(dǎo)體薄膜的沉積應(yīng)用及制造技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù):

目前，半導(dǎo)體電鍍?cè)O(shè)備，特別是12英寸PECVD設(shè)備產(chǎn)品的加熱盤(pán)升降調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)由電動(dòng)滑臺(tái)(氣動(dòng)滑臺(tái))、導(dǎo)軌、波紋鋼管、上下連接法蘭、導(dǎo)向機(jī)構(gòu)、調(diào)平機(jī)構(gòu)、密封機(jī)構(gòu)、傳感器和支架構(gòu)成動(dòng)力連通時(shí)，滑臺(tái)在導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的引導(dǎo)下上下移動(dòng)，通過(guò)傳感器反饋位置實(shí)現(xiàn)加熱盤(pán)的升降調(diào)整。 但是，上述復(fù)雜的調(diào)整結(jié)構(gòu)可以滿足調(diào)整加熱盤(pán)升降的需要，滿足升降位置反饋和調(diào)整的需要，但由于設(shè)備的工作環(huán)境一般為400°C以上的高溫，調(diào)整和反饋的信號(hào)容易干擾，維護(hù)時(shí)設(shè)備的 高端電子設(shè)備的成本也不會(huì)變小，上述閉環(huán)全自動(dòng)的設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)并不完全適應(yīng)半導(dǎo)體電鍍行業(yè)的現(xiàn)狀。

本實(shí)用新型的目的是針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種占地面積小、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、容易調(diào)平的新型手動(dòng)升降裝置。 為了實(shí)現(xiàn)上述目，本實(shí)用新型包括波紋管組件，波紋管組件通過(guò)焊接形成波紋管組件和上下凸緣. 在此基礎(chǔ)上，法蘭固定在加熱盤(pán)底部，下法蘭按壓密封件固定在穩(wěn)定流室底部，實(shí)現(xiàn)波紋管的固定和密封。 波紋管組件的下法蘭與導(dǎo)向銅套連接，在整個(gè)裝置的垂直方向上被導(dǎo)向。 所述導(dǎo)向銅套與線母連接，線母與螺桿卡合，通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)螺釘固定座、銅套和手柄實(shí)現(xiàn)螺桿的順利旋轉(zhuǎn)。 指針固定在導(dǎo)套上，刻度板環(huán)在把手的外圈上。 調(diào)整刻度盤(pán)時(shí)，刻度盤(pán)會(huì)準(zhǔn)確地指示旋轉(zhuǎn)行程，刻度在數(shù)量級(jí)表示上升或下降的位移。 導(dǎo)向銅套的外周有與彈簧相連的螺栓，用于微調(diào)加熱盤(pán)的水平。 通過(guò)彈簧的自鎖功能，可以在調(diào)整中獲得可調(diào)整的效果。 本實(shí)用新型采用簡(jiǎn)單可靠的機(jī)械傳動(dòng)機(jī)構(gòu)和直觀的刻度盤(pán)、標(biāo)尺代替現(xiàn)有技術(shù)的滑臺(tái)和傳感器，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。 另外，在實(shí)現(xiàn)基本功能需求的基礎(chǔ)上，可以完全實(shí)現(xiàn)加熱柜的升降調(diào)整、極距調(diào)整，加之機(jī)構(gòu)整體空間小，調(diào)平和拆卸維護(hù)簡(jiǎn)單，保證升降高度的反饋直觀，成本低廉 適用于科研機(jī)構(gòu)和小型Fab工廠所需的經(jīng)常性調(diào)整試驗(yàn)參數(shù)，反復(fù)調(diào)整比對(duì)實(shí)驗(yàn)結(jié)果的目的。

具體實(shí)施方式：

波紋管組件通過(guò)焊接形成波紋管和上下凸緣，其上凸緣固定在加熱盤(pán)底部，下凸緣按壓密封固定在穩(wěn)定流室底部進(jìn)行波紋管固定和密封，波紋管組件下凸緣與導(dǎo)向銅罩連接，在裝置整體的上下方向上

根據(jù)權(quán)利要求1所述手動(dòng)升降裝置，其特征在于，所述螺桿(8)為t型結(jié)構(gòu)。

摘要專利手動(dòng)升降裝置主要解決了現(xiàn)有產(chǎn)品結(jié)構(gòu)復(fù)雜、成本高等技術(shù)問(wèn)題。 該裝置包括波紋管組件，波紋管組件由波紋管和上下法蘭焊接而成。 在此基礎(chǔ)上，固定在加熱盤(pán)底部，下法蘭按壓密封件固定在穩(wěn)定流室底部，實(shí)現(xiàn)波紋管的固定和密封。 在整個(gè)裝置的垂直方向上被導(dǎo)向。 指針固定在導(dǎo)銅套上，刻度板環(huán)固定在把手的外圈上，導(dǎo)銅套的外周設(shè)有與彈簧連接的螺栓。 本裝置采用簡(jiǎn)單可靠的機(jī)械傳動(dòng)機(jī)構(gòu)和直觀的刻度盤(pán)、標(biāo)尺代替?zhèn)鹘y(tǒng)的滑臺(tái)和傳感器，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，拆卸維護(hù)方便，成本低廉。 適應(yīng)科研機(jī)構(gòu)和小型Fab工廠所需的經(jīng)常性調(diào)整試驗(yàn)參數(shù)，反復(fù)調(diào)整比對(duì)實(shí)驗(yàn)結(jié)果的目的。